真空釬焊爐的真空儀表在有效期使用范圍之內,經檢漏儀檢漏,真空規管處的保護閥門存在漏氣問題,將該閥門進行替換。
1、通過查看,羅茨泵轉子與轉之間、轉子與泵腔內壁之間的空隙在允許范圍內,齒輪磨損十分小,不用替換,但軸承磨損嚴重,因而將該軸承進行了替換。羅茨泵的軸頭密封圈漏油,將軸頭密封圈進行了替換,并替換了羅茨泵兩端的潤滑油。羅茨泵維修完成后,進行檢漏密封處不存在漏氣問題。測試羅茨泵的極限真空度可到達3×10-2Pa。
2、通過對真空釬焊爐的爐體及真空抽氣系統的外部檢漏,發現主閥閥桿密封、預抽閥、放氣閥、氣動球閥和爐門密封都存在不同程度的漏氣現象。分解查看后發現主閥閥桿密封、爐門大圈密封圈嚴重老化,發生裂紋而存在漏氣問題,因而替換相應的密封圈。替換主閥閥桿密封圈時,考慮到此處受高溫的影響,密封圈簡單老化,因而選用的材料是氟橡膠。
氟橡膠是十分好的耐高溫、耐各種介質的密封材料,放氣量小,具有其他密封材料無與倫比的優越性能,從而為此處的密封供給了必要的保證。同時發現預抽閥閥芯、放氣閥、氣動球閥閥桿及閥芯的密封磨損得十分嚴重,因而將這三個閥門進行了替換。
對熱電偶金屬封頭處檢漏時,由于測漏的反響時間比較長,如果熱電偶金屬封頭鄰近存在十分細小的漏氣點,因而特別簡單發生誤判斷。對此選用一種特別的辦法:先用塑料袋將偶絲密封處包起來,再將氦氣通入塑料袋中進行檢漏。經上述辦法的檢測,發現熱電偶自身密封處存在漏氣的問題,因而替換了新的熱電偶。
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