真空爐系統(tǒng)主要組成部分有：
1.真空系統(tǒng)。
真空系統(tǒng)由機械泵、擴散泵、主路閥、旁路閥和高真空擋板閥等組成。機械泵為粗真空裝置,其動力源是1臺三相交流電動機,通過交流接觸器的吸合與斷開實現(xiàn)泵的工作與停止。高真空油擴散泵為高真空裝置,借助前級機械泵和擴散泵油及電爐加熱的作用完成高真空度要求的抽氣工作,通過交流接觸器的吸合與斷開控制其電加熱爐的通斷,進而控制擴散泵的動作與停止。
2.加熱系統(tǒng)。
加熱系統(tǒng)由加熱電源和加熱元件組成,加熱電源選用磁性調(diào)壓器,利用直流激磁電源實現(xiàn)無觸點的帶負載的平滑無級調(diào)壓,其直流激磁電源由功率調(diào)控器控制,而功率調(diào)控器利用溫控儀通過熱電偶檢測到的爐溫當前值與設(shè)定值之差,經(jīng)PID運算,輸出4～20mA的直流信號,控制磁性調(diào)壓器中的磁飽和電壓,進而按溫控儀所設(shè)置的溫控曲線實現(xiàn)加熱電流和溫度的自動調(diào)控。
3.有關(guān)控制設(shè)備組成。
在所設(shè)計的分布式控制系統(tǒng)中,充分利用計算機強大的數(shù)據(jù)運算和處理功能,及時監(jiān)控系統(tǒng)的工作狀態(tài),尤其是引入智能PID參數(shù)的自動整定,進一步提升真空爐系統(tǒng)的控制指標。
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