真空釬焊爐的真空儀表在有效期使用范圍之內(nèi),經(jīng)檢漏儀檢漏,真空規(guī)管處的保護(hù)閥門存在漏氣問題,將該閥門進(jìn)行替換。
1、通過查看,羅茨泵轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)之間、轉(zhuǎn)子與泵腔內(nèi)壁之間的空隙在允許范圍內(nèi),齒輪磨損十分小,不用替換,但軸承磨損嚴(yán)重,因而將該軸承進(jìn)行了替換。羅茨泵的軸頭密封圈漏油,將軸頭密封圈進(jìn)行了替換,并替換了羅茨泵兩端的潤滑油。羅茨泵維修完成后,進(jìn)行檢漏密封處不存在漏氣問題。測試羅茨泵的極限真空度可到達(dá)3×10-2Pa。
2、通過對真空釬焊爐的爐體及真空抽氣系統(tǒng)的外部檢漏,發(fā)現(xiàn)主閥閥桿密封、預(yù)抽閥、放氣閥、氣動球閥和爐門密封都存在不同程度的漏氣現(xiàn)象。分解查看后發(fā)現(xiàn)主閥閥桿密封、爐門大圈密封圈嚴(yán)重老化,發(fā)生裂紋而存在漏氣問題,因而替換相應(yīng)的密封圈。替換主閥閥桿密封圈時(shí),考慮到此處受高溫的影響,密封圈簡單老化,因而選用的材料是氟橡膠。
氟橡膠是十分好的耐高溫、耐各種介質(zhì)的密封材料,放氣量小,具有其他密封材料無與倫比的優(yōu)越性能,從而為此處的密封供給了必要的保證。同時(shí)發(fā)現(xiàn)預(yù)抽閥閥芯、放氣閥、氣動球閥閥桿及閥芯的密封磨損得十分嚴(yán)重,因而將這三個(gè)閥門進(jìn)行了替換。
對熱電偶金屬封頭處檢漏時(shí),由于測漏的反響時(shí)間比較長,如果熱電偶金屬封頭鄰近存在十分細(xì)小的漏氣點(diǎn),因而特別簡單發(fā)生誤判斷。對此選用一種特別的辦法:先用塑料袋將偶絲密封處包起來,再將氦氣通入塑料袋中進(jìn)行檢漏。經(jīng)上述辦法的檢測,發(fā)現(xiàn)熱電偶自身密封處存在漏氣的問題,因而替換了新的熱電偶。
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