寧波真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,可進(jìn)行真空燒結(jié),氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,在一臺(tái)設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理,真空釬焊等工藝。
寧波真空燒結(jié)爐是怎樣操作的?
1、中頻電源、真空爐爐體、感應(yīng)圈之冷卻水源——蓄水池之水必須充滿,水中不得有雜質(zhì)。華弘真空
2、開動(dòng)水泵,使其中頻電源,真空爐感應(yīng)圈、爐體冷卻系統(tǒng)水循環(huán)正常,并調(diào)整水壓控制在規(guī)定值。
3、檢查真空泵電源系統(tǒng),皮帶盤皮帶松緊,真空泵油是否位于油封觀察孔中線。檢查妥后,人工轉(zhuǎn)動(dòng)真空泵皮帶盤,如無異常,可在關(guān)閉蝶閥的情況下,啟動(dòng)真空泵。
4、檢查真空爐體內(nèi)情況,要求真空爐體內(nèi)一級(jí)衛(wèi)生,感應(yīng)圈絕緣良好,密封真空膠帶具有彈性,尺寸合格。
5、檢查真空爐體的杠桿手把啟動(dòng)是否靈活。
6、檢查轉(zhuǎn)動(dòng)式麥?zhǔn)险婵沼?jì)是否合乎要求。
7、檢查石墨坩堝,裝爐配件是否齊全。
8、在以上準(zhǔn)備就緒后,接通電源,中頻電源合閘,按中頻啟動(dòng)規(guī)則,試啟動(dòng)變頻,成功后停止變頻,方可開爐。
9、真空爐體上蓋的觀察、測溫孔,每次開爐均需清潔處理,以便觀察和測溫。
10、裝爐時(shí)應(yīng)根據(jù)不同燒結(jié)產(chǎn)品,采取相應(yīng)裝爐方式。按有關(guān)材質(zhì)裝爐規(guī)則裝盤,不得隨意更改。
11、為了保持恒溫,防止熱輻射,發(fā)熱坩堝上加二層碳纖維,再罩上隔熱屏。
12、墊好真空密封膠帶。
13、操作杠桿手把,轉(zhuǎn)動(dòng)真空爐頂蓋與爐體密切重合,放下頂蓋,并鎖好固定螺母。
14、徐徐打開蝶閥,抽爐體空氣,至真空度達(dá)到規(guī)定值。
15、在真空度達(dá)到規(guī)定要求后,開始啟動(dòng)變頻,調(diào)整中頻功率,按有關(guān)材質(zhì)的燒結(jié)規(guī)定操作;升溫、保溫冷卻。
16、燒結(jié)完畢后,停止變頻,按停止變頻開關(guān),逆變停止工作,斷開中頻電源分閘與斷開電源總閘。
17、從爐體觀察孔觀察爐膛發(fā)黑后,先關(guān)閉真空泵蝶閥與斷開真空泵電流,再接自來水繼續(xù)冷卻感應(yīng)圈和爐體,停水泵。
18、中頻電壓750伏有觸電危險(xiǎn)。在整個(gè)操作和檢查過程中,要注意操作安全,不要用手接觸中頻電柜。
19、在燒結(jié)過程中,隨時(shí)從爐體側(cè)面觀察孔觀察感應(yīng)圈是否發(fā)生放弧現(xiàn)象,如發(fā)現(xiàn)異常現(xiàn)象,應(yīng)立即報(bào)告有關(guān)人員處理。
20、啟動(dòng)真空蝶閥應(yīng)緩慢,否則會(huì)因抽氣過急而冒油,帶來不良后果。
21、正確使用轉(zhuǎn)動(dòng)式麥?zhǔn)险婵沼?jì),否則會(huì)造成真空讀數(shù)誤差或因操作過急而使水銀溢出造成公害。
22、注意真空泵皮帶盤安全運(yùn)行。
23、在墊真空密封膠帶,蓋爐體頂蓋時(shí),注意防止壓手。
24、凡在真空條件下,容易揮發(fā)影響真空衛(wèi)生,造成管道堵塞、真空泵臟化的工件或容器,不得入爐。
25、凡產(chǎn)品加有成型劑(如油或石蠟),必須脫掉方可入爐燒結(jié),否則會(huì)造成不良后果。
26、全部燒結(jié)過程中,要注意水表壓力范圍和冷卻水循環(huán),以免發(fā)生事故。
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