真空氣淬爐分為臥式爐、立式爐和半接連式爐三種類型，其間臥式和立式爐又分為單室和雙室兩種，雙室為加熱室和冷卻室；半接連式爐有三個室，分別為準備室、加熱室和冷卻室。那么清洗真空氣淬爐的熱處理物料，需要如下幾個步驟：
1.把清洗件經過吊籃放進爐內，關門后擰緊。
2.將工件加熱到350度，在340度時翻開真空泵，溫度表逐漸上升便是正常的，反之便是有泄露疑問。
3.維持90-120分后，將工件上的廢料收集到罐內冷卻后處理，也可以按狀況減少時間。
4.在30分鐘后把真空爐的溫度升到480度，500度時要維持六小時。
5.清洗后的物質會被排出爐外。
6.真空爐完畢后，就可以斷水斷電，然后自然冷卻，不需要人為操作。
真空氣淬爐是使用隋性氣體作為冷卻介質，對加熱后的工件進行氣冷淬火的真空熱處理爐。真空氣淬爐常見的分類有：
按氣冷壓力的不同分為負壓氣冷(<1×105Pa)、加壓氣冷[(1～4)×105Pa]、高壓氣冷[(5~10)×105Pa]和超高壓氣冷[(10～20)×105Pa)]，壓力的增大有利于提高其冷卻速度，以習慣不同鋼種冷卻的要求。
根據氣冷方法的不同，真空氣淬爐的氣體冷卻方法分為內循環和外循環兩種。內循環方法的風扇和熱交換器均安裝于爐殼內，而外循環的風扇和熱交換器則安裝于爐體外，與爐體分離安裝，氣體經過外部循環進行冷卻。華弘真空。
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